抛光液成分分析与配方检测的方法

气相色谱－质谱联用仪

主要用在：分析抛光液分子组成结构；抛光液的CMP化学机械作用机理研究。

电感耦合等离子体发射光谱仪

主要用在：测定各种抛光液的样品中主成分、溶剂、助剂、填料等多种元素的含量。

热重分析仪

主要用在：分析一个抛光液样品同时进行TGA、DSC两种不同测试,得到两种对应性好、可靠度高的分析结果, 并能区分物理与化学反应变化过程。

核磁共振仪

主要用在：对抛光液的化合物成分结构骨架进行定性分析，进行核的动态过程、瞬变过程、反应动力学等方面的研究，可配合液相色谱仪对抛光液进行定量分析、测定分子量等。

取来5-10ml的抛光液样品，进行标准样品溶液配制。在此过程中，可采用油浴、水分测定仪、TEM等来测试，记录物理表征。

用红外光谱仪（FTIR)扫描，得到抛光液配方的大致红外光谱图，并判定其中的主要成分及含量。

用气-质联用仪来研究抛光液的配方组成成分，从图谱上判断出基本的成分含量。

液相凝胶色谱仪、核磁共振仪、热重分析仪等3三种分析仪器联用，得到各自的谱图，相互对比，精确判定抛光液配方成分的定性定量结果。

分析工程师凭借以往分析过的抛光液技术经验，与权威图谱分析数据库做比照，科学计算其抛光液成分的含量误差区间，印证分析结果，出分析报告。

抛光液的分析方法选择，一定要科学、客观、谨慎，微谱分析法是比较综合性的分析技术方法。

收录量超过150万条的超庞大、权威、数据全面的图谱解析数据库。

以往有做过抛光液等精细化学品经验的分析工程师。

事先沟通好是否能做？尽量寄送配置好的标准样品，或者请分析机构代为配制。