电真空器件的气密性检测时的注意什么

温度　　环境温度对漏孔的漏率有很大的影响，工件温度与室内温度一致时进行检漏效果最佳。温度对于漏孔几何尺寸和气体特性的影响都将改变漏率大小。漏孔通道的几何尺寸会随温度变化，同一个漏孔在不同的温度下，其漏率值是不一样的。按国家标准GB/T 12604.7-1995 规定，标准漏率的温度是25 ℃

临时密封污染　　被检件与辅助模具、检漏仪连接处，一般采用真空橡胶垫、橡胶圈、橡胶管、橡胶塞、酒精、真空封泥等进行密封处理。检漏过程中，零部件需要多次与真空封泥接触。真空封泥虽然可以被汽油溶解，但仍会有少量封泥进入被检件，如密封狭小腔体，不易发现和取出，成为潜在放气源，严重影响电真空器件的性能。酒精、汽油在高温下分解成CO2、CO、CH4、H2 和水蒸汽，其化合生成的有机物也是污染源。因此，检漏完毕后一定要彻底检查清理被检件。

材料的吸附　　真空管道、阀门、橡胶密封件属于吸气材料，使用时间越长，氦气等杂质气体吸附越多，检漏时被吸入质谱室会产生表面沉积物等污染，导致氦本底过高，仪器不稳定，达不到检漏精度要求易造成漏检。因此，需经常进行除氦处理，清洗质谱室表面。