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如何切硅片(1×1cm为例)

通常我们购买的硅片是圆形的,科研实验时需要切成不同的尺寸。在这里,以1×1cm的硅片为例向大家介绍小编的经验,请多指教。切硅片的操作环境需要干净,空气中的粉尘颗粒很容易吸附在硅片上。有条件的话,最好在超净间进行。
工具/原料
1

硅片刀、尺子、镊子、手套、A4纸

2

待切硅片(4英寸)

方法/步骤
1

用打印机打印一张全是1×1cm的表格,平铺在操作台上。在纸上放上透明干净的保护膜(降低纸与硅片间摩擦和污染)。

2

圆形的硅片有两个切边(确定晶向,利于切割),将硅片一个切边的沿着表格线放纸上,将尺子用保护膜套着,先从中间开始切,硅片刀成45度斜角一次性沿着尺子划,用力适中,不可过大,也不可过轻。

3

然后将硅片翻过来,用镊子请轻轻压在刚才划过的线相应的位置。着力点不可过于集中,要均匀,否则容易劈裂。

4

这样由大到小,依次切开。

5

最后是2×2cm的样品,直到1×1cm。

注意事项
1

操作时一定戴手套,最好戴上口罩。

2

空气中的粉尘易吸附硅片造成污染,切完硅片,可以用超声清洗。

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