随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。本文主要介绍如何利用激光干涉仪进行机床定位精度检测和补偿。
工具/原料
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SJ6000激光干涉仪
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数控机床
方法/步骤
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一.激光干涉仪检测机床定位精度的方法定位精度测量、重复定位精度测量和反向间隙测量统称为位置精度测量，又称之为线性测量。SJ6000激光干涉仪标配可以直接进行线性测量，一次测量即可得出上述三种误差。线性测量中目标位置的数据采集有【基于位置的目标采集】和【基于时间的目标采集】两种方式，普遍使用基于位置的目标采集方式：被测运动轴需设置若干个等距的定位点，当测长机的测头移动到设置的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000激光干涉仪进行当前点的数据采集。测量结果将会自动生成分析曲线，即可得到导轨的运行轨迹。
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二.激光干涉仪对机床补偿方法：在软件【记录管理】界面中，选择【分析标准】，点击确认【误差补偿】，绘制误差补偿图表，该表涵盖了每个设置定位点的补偿数据。SJ6000激光干涉仪可以直接将补偿数据通过通信线写入到测长机控制系统，达到精确补偿，从而有效地降低或消除测长机的位置测量误差。下图分别为测长机的导轨补偿前后的线性运行轨迹，其线性定位精度提高了一个量级，可谓是不可同日而语。
注意事项
为了最小化振动作用并加强测量稳定性，SJ6000激光干涉仪的镜组应牢靠固定到所需的测量点上；磁力表座应直接吸住机床底座，避免吸装在机床护罩或机床盖等较薄弱的部分；确保吸装的表面平坦且没有杂质。