SF6气体抽真空充气装置

装置电气图

1、本装置采用单相220V电源。2、用软管将装置接口与被抽设备（开关或管路）连接，在接口填入尼龙密封垫圈，并紧固。3、关闭所有阀门!(在开机前必须首先关闭所有阀门)。4、接上电源，打开按钮，即开真空泵。观察真空泵油位，油位在油标中心附近，则可投入运行，如油位过低，可停泵加油至油标中心。如过高而有显著喷油，可停泵放油至油标中心。5、在确认需抽真空容器及管路为0表压时，可观察真空压力表M1（真空泵不能承受压力冲击，否则会发生事故），打开总阀门V0，然后根据抽气管路，打开该管路上阀门，即对该路抽真空。6、真空测量6.1.在抽真空操作之前，须确认管路系统及待测真空度之产品处于负压状态，否则否则易造成真空计传感器-真空规管的损坏。6.2.打开真空规管测量阀(注意：打开、关闭此阀门时，不应用力过大)，然后可观测系统真空度。6.3.测量结束时，切记关闭真空规管测量阀及真空计电源开关。7、关机7.1、关闭所有球阀。7.2、关闭按钮，关真空泵。8.充气过程即为从气体钢瓶经软管连接至各所需充气单元。可根据不同单元选择不同球阀开启后直接充气(用户需在钢瓶后配置减压器)。

抽真空结束后在充气前，应先确认真空规管测量阀处于关闭状态。